サファイアウェーハLEDへの炭化ホウ素の適用
炭化ホウ素研磨剤は、サファイアウェーハの両面研削、およびサファイアベースのLEDエピタキシャルウェーハの裏面研磨と研磨に優れた性能を発揮します。
サファイア結晶は強度と硬度が高いため、加工企業に大きな困難をもたらしています。材料と粉砕学界の観点から、サファイア結晶を処理および粉砕するための比較的優れた材料は、合成ダイヤモンド、炭化ホウ素、および炭化ケイ素です。人工ダイヤモンドは硬度が高すぎるため、研削時にサファイアウェーハの表面に傷がつき、ウェーハの光透過率に影響を与え、高価になります。しかしながら、炭化ケイ素の硬度は不十分であり、粉砕力は不十分であり、それは粉砕プロセスにおいて時間と労力を要する。したがって、炭化ホウ素研磨剤は、サファイア結晶の加工および研削に理想的な材料になります。