サファイア研削における炭化ホウ素砥粒の利点は何ですか

サファイア研削における炭化ホウ素砥粒の利点は何ですか。 サファイア研削
プロセスの主な目的は、サファイアのスライスプロセス中に生成される表面のカットマークや不均一なダメージ層を除去し、ウェーハの平坦度を改善し、表面粗さを低減することです。研磨前の要件を満たします。工業加工では、サファイアの表面は、粗い素材の表面から滑らかな鏡面に至るまで、粗研削、微研削、研磨という3つの加工工程を経る必要があります。各処理プロセスの後、サファイアウェーハの全体の厚さの偏差と表面粗さは徐々に減少します。

サファイアは硬度が高く、一般的な研磨剤では切削力がありません。材料と研削の観点から、サファイア結晶の加工と研削に適した材料は、人造ダイヤモンド、炭化ホウ素、二酸化ケイ素です。人造ダイヤモンドの硬さ（モース硬度10）が高すぎるため、サファイアウェーハを研削するときに表面に傷がつき、ウェーハの光透過率に影響を与え、価格が高価になりますが、二酸化ケイ素の硬度（モース硬度）は十分ではありません。硬度 7)、研削 研削プロセスでは、力の差により時間と労力がかかります。したがって、炭化ホウ素研磨材（モース硬度 9.3）は、サファイア結晶の加工および研削に理想的な材料となります。

炭化ホウ素は、古くから粗砂研削材として使用されてきました。融点は高いですが、粉末を高温で溶かすことで簡単な形状に加工することができます。超硬、宝石などの硬い材料の研削、研削、穴あけ、研磨に使用します。

炭化ホウ素研磨剤は、サファイア表面下の損傷深さを軽減する点で、ダイヤモンド研磨剤に比べて明らかな利点を持っています。サファイアの粗研削における炭化ホウ素の明らかな利点に加えて、サファイアの化学機械研磨の表面品質と加工効率を向上させるために、他の研磨粒子との複合粒子も研究する価値があります。