サファイアウェーハ研削用の炭化ホウ素F230

炭化ホウ素研磨剤は、サファイアの両面研削、およびサファイアベースのLEDエピタキシャルウェーハの薄化と研磨に優れた性能を発揮します。

サファイア結晶は強度と硬度が高いため、加工企業に大きな困難をもたらしています。材料と粉砕学界の観点から、サファイア結晶を処理および粉砕するための最良の材料は、合成ダイヤモンド、炭化ホウ素、および二酸化ケイ素です。人工ダイヤモンドは硬度が高すぎるため、研削時にサファイアウェーハの表面に傷がつき、ウェーハの光透過率に影響を与え、高価になります。しかしながら、シリカの不十分な硬度および不十分な粉砕力は、粉砕プロセスにおいて時間および労働集約的である。したがって、炭化ホウ素研磨剤は、サファイア結晶の加工および研削に理想的な材料です。

サファイアウェーハ研削用の炭化ホウ素は、電気炉での高温製錬ボリックエイドとカーボンマテレールによって製造されます。

サファイアウェーハ研削用炭化ホウ素の化学組成（％）
B％		78-81
C％		17-22
Fe ₂ O ₃％		0.2-0.4
B ₄ C％		95-99
サファイアウェーハ研削用炭化ホウ素の物理的性質
色	黒
分子式	B4C
密度と位相	2.52g/cm3ソリッド
水への溶解度	不溶性
融点	2450°C
沸点	3500°C
結晶構造	菱面体
モース硬度	9.6
微小硬度	4950kgf / mm2

利用可能なサイズ

炭化ホウ素の利用可能なサイズ
グリットサイズの砂	40＃46＃54＃60＃70＃80＃90＃100＃120＃150＃180＃220＃
マクロパウダー	-325＃-200＃-10um -20um
マイクロパウダー	F230F240F280F320F360F400F500F600F800F1000F1200F1500F2500