炭化ホウ素
サファイアウェーハLED用の炭化ホウ素B4CF280研削
炭化ホウ素は、サファイアの両面研削、およびサファイアベースのLEDエピタキシャルウェーハの薄化と研磨で優れた性能を発揮します。
サファイア結晶は強度と硬度が高いため、加工企業に大きな困難をもたらしています。材料と粉砕学界の観点から、サファイア結晶を処理および粉砕するための最良の材料は、合成ダイヤモンド、炭化ホウ素、および二酸化ケイ素です。人工ダイヤモンドは硬度が高すぎるため、研削時にサファイアウェーハの表面に傷がつき、ウェーハの光透過率に影響を与え、高価になります。しかしながら、シリカの不十分な硬度および不十分な粉砕力は、粉砕プロセスにおいて時間および労働集約的である。したがって、炭化ホウ素研磨剤は、サファイア結晶の加工および研削に理想的な材料です。
ブラックダイヤモンドとしても知られる炭化ホウ素は、化学式がB4Cの無機物質であり、通常は灰黒色のマイクロパウダーです。これは、知られている3つの最も硬い材料の1つです(ダイヤモンドと立方晶窒化ホウ素に次ぐ)。サファイアウェーハLED タンクアーマー、防弾チョッキ、および多くの産業用途の研削に使用され ます。そのモース硬度は約9.6です
サファイアウェーハ用の炭化ホウ素粉砕は、電気炉での高温製錬ボリックエイドとカーボンマテレールによって製造されます。
サファイアウェーハ用炭化ホウ素の化学組成(%) |
||
B% |
78-81 |
|
C% |
17-22 |
|
Fe 2 O 3% |
0.2-0.4 |
|
B 4 C% |
95-99 |
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サファイアウェーハの物理的特性のための炭化ホウ素研削 |
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色 |
黒 |
|
分子式 |
B4C |
|
密度と位相 |
2.52g/cm3ソリッド |
|
水への溶解度 |
不溶性 |
|
融点 |
2450°C |
|
沸点 |
3500°C |
|
結晶構造 |
菱面体 |
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モース硬度 |
9.6 |
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微小硬度 |
4950kgf / mm2 |
炭化ホウ素の利用可能なサイズ
サイズ |
粒度分布(um) |
B% |
C% |
Fe2O3 |
B4C% |
F230 |
53±3 |
77-80 |
17-22 |
0.3-0.5 |
96-97 |
F240 |
44.5±2 |
77-80 |
17-22 |
0.3-0.5 |
96-97 |
F280 |
36.5±1.5 |
77-80 |
17-22 |
0.3-0.5 |
96-97 |
F320 |
29.2±1.5 |
76-79 |
17-21 |
0.3-0.6 |
95-97 |
F360 |
22.8±1.5 |
76-79 |
18-22 |
0.3-0.7 |
94-97 |
F400 |
17.3±1 |
76-79 |
18-22 |
0.3-0.7 |
94-97 |
F500 |
12.8±1 |
74-78 |
17-21 |
0.4-0.9 |
92-94 |
F600 |
9.3±1 |
75-78 |
18-22 |
0.1-0.8 |
90-94 |
F800 |
6.5±1 |
75-78 |
18-22 |
0.1-0.8 |
90-94 |
F1000 |
4.5±0.8 |
75-78 |
18-22 |
0.1-0.8 |
90-94 |
F1200 |
3±0.5 |
75-78 |
18-22 |
0.1-0.8 |
90-94 |
包装
サファイア研削炭化ホウ素パッキングの詳細
1.20kgs紙袋
2.1mt木箱
サファイアウェーハ工場向けの炭化ホウ素研削
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