中国破砕中性子源で高性能大面積炭化ホウ素薄膜の開発に成功

中国破砕中性子源で高性能大面積炭化ホウ素薄膜の開発に成功
記者は 10 月 16 日に中国破砕中性子源 (CSNS) から、CSNS 検出器が研究チームはこのほど、自社開発した大面積ホウ素めっき用マグネトロンスパッタリング専用装置を用いて、中性子検出器のニーズを満たす高性能大型ホウ素めっき装置の作製に成功した。炭化ホウ素フィルムサンプルの面積、単一片の面積は1500 mm × 500 mmに達し、フィルムの厚さは1ミクロンで、全サイズ範囲での厚さの均一性は±1.32％より優れています。これは、 中性子検出に使用される炭化ホウ素フィルムとしては世界最大の面積を誇ります。